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扫描电镜技术参数(扫描电镜的参数)

本文导读目录:

扫描电子显微镜观察出的图片中参数都是什么意思。

扫描电镜,是观察样品表面的结构特征;

透射电镜,是观察样品的内部精细结构。

扫描电镜中的WD参数是什么意思

工作距离,指的的是样品成像表面到物镜的距离,等于清晰成像时物镜焦距。

电磁透镜物镜焦距随着磁线圈的电流强度变化成一定函数关系,因而聚焦是控制磁线圈电流,连续改变焦距,从而实现聚焦平面和样品表面重合,实现清晰成像。

冷热场发射扫描电镜的区别是什么?

场发射分热场和冷场,共性是分辨率高。热场的束流大些,适合进行分析,但维护成本相对较高,维护要求高。冷场做表面形貌观测是适合的,相对而言维护成本低些,维护要求不算高。

冷场发射电子枪

优点:单色性好,分辨率高

缺点:电子枪束流不稳定,束流小,不适合做能谱分析,每天要做一次Flash

热场发射电子枪

优点:电子束稳定,束流大

缺点:与冷场相比除了单色性和分辨率略差点外,其它找不出缺点。

热场在总发射电流(Total emission current)、最大探针电流(Maximum probe current)、电子束噪声(Beam noise)、发射电流漂移(Emission current drift)、工作真空(Operating vacuum)、阴极还原(Cathode regeneration)、对外部影响的敏感性(Sensitivity to external influence)等方面都具有一等的优势。这些参数直接影响电镜的性能。在阴极半径(Cathode radius)、有效电子源半径(Effective source radius)、发射电流密度(Emission current density)、标准亮度(Normalised brightness)等方面,冷场发射略胜一筹。这几个参数总起来说就是冷场发射阴极的发射面积较小、能量集中,便于将电子束聚焦于一个很小的点,以提高分辨率。但是在现代的电镜技术条件下,热场发射电镜通过采取各种有效措施,也能够将电子束汇聚于一个理想的点,达到冷场发射电镜的分辨率水平。

热场发射电镜主要的一个缺点是灯丝(阴极)寿命较短,给定寿命2000小时,实际可用3年左右。而冷场发射阴极寿命相对较长,且更换费用较低。

ESBD技术是什么意思,似乎是扫描电镜上配置的

这个只能在扫描式的电子显微镜或者电子探针上面安装,属于电子显微镜分析附件。类似X射线衍射仪,但用法不太一样。

价格比较贵,8万美元左右。

用扫描电镜观察低衬度试样时电镜参数如何设定,原因何在?

低衬度的样品,它的形貌不明显,这样只有让电镜的分辨率高些,比如降低电压,减小束斑直径。你也可以用背散射成像,看看他的成分衬度。

扫描电镜的se和bse模式有什么区别

扫描电镜的SE和BSE模式的区别,

1.收集信号不同。SE:二次电子;BSE:背散射电子

2.分辨率不同。SE:高;BSE:低

3.图像衬度不同。SE:形貌衬度;BSE:质厚衬度

4.应用目的不同。SE:围观立体形貌;BSE:元素、相二维分布

在使用扫描电镜进行形貌观察的时候,有时为了能同时获取形貌和成分衬度的图像,会采取多通道探测器同时进行 SE 和 BSE 的信号采集的方式。SE 和 BSE 图像虽然都可以满足形貌观察的要求,但是它们对形貌的表现却并不完全一致,尤其是需要对样品进行精确测量的时候。两者的测量结果可能会存在很大误差,

测量数据差异的分析

采用 SE 图像进行管径的测量,得到的数据基本和实际管径相当;而如果采用 BSE 图像测量管径,测量的其实是图中的黄色虚线范围,得到的管径数据要比 SE 图像的略小。所以针对这一类试样来说,SE 图像测量到的数据比 BSE 更加真实可靠。尤其是这种相对密度较低、容易穿透的试样来说,BSE 的实测数据要比 SE 小8-10nm左右。所以管径范围如果在20nm到200nm左右,接近10nm的误差将不可避免,尤其针对小管径样品而言,相对误差会更大。

测量差异的解决办法

通常情况下,大部分用户在使用扫描电镜进行试样观察时,二次电子的使用会多于背散射电子,此时不会出现太大的测量误差。但是在一些特殊的情况下,比如需要进行成分衬度的观察,或者遇到荷电、沉积污染等情况而不得不使用背散射电子的时候,有没有办法来对 BSE 的测量精度进行弥补呢?答案当然是肯定的,我们有办法来解决 BSE 的测量精度问题。既然分析出误差的产生的原因是源于 BSE 的穿透深度比 SE 的穿透深度要深很多,那么解决该误差,我们应该从穿透深度入手。接下来就用两种方法来解决这个问题。

降低电压来减小 BSE 的穿透深度

根据电子束和样品作用区域这些基本理论,我们很容易想到通过降低加速电压来减小 BSE 的穿透深度。如果我们进一步降低加速电压,减小作用体积,缩短 BSE 的作用深度,那么在不考虑分辨率的情况下,背散射电子图像测量到的数据应该会更接近二次电子图像,还是同样的管状试样,我们将加速电压由 5kV 降到 2kV,仍然进行 In-Beam SE 和 In-Beam BSE 的同时采集,采用“ Canny Edge Detector ”功能进行边界自动识别,然后再进行精确测量,

虽然降低电压可以减小测量的误差,但是降低电压也会有一定的问题。第一就是分辨率的下降:如果需要的倍数很高的情况下,因为分辨率的下降会导致边缘发生模糊,这对边界的判定也会带来误差;第二就是信号的减弱,尤其是对于 BSE 信号来说,降低加速电压后信号量的下降幅度会非常大,因此导致操作的时候存在一定的困难;第三就是为了实现低电压的 BSE 高质量成像,可能需要电镜具有一定的配置(如低电压的BSE探测器)或者特定的电镜工作条件(如较小的工作距离,上面采用了3mm),这对有些电镜来说是不容易实现的,比如有些自主开放的电镜实验室,工作距离都被限定在较远的区域。那是否有办法在常规电压下,也减少 BSE 的测量误差呢?答案仍然是肯定的。

在我们《电镜学堂 | 细谈二次电子和背散射电子》系列文章中,我们介绍了一类比较特殊的背散射电子—— Low-Loss BSE 。Low-Loss BSE 的作用深度要比常规的 BSE 浅很多,甚至和 SE 的表面灵敏度相当。因此我们在测量的时候,如果选择使用 Low-Loss BSE 来进行成像,那么对其进行精确测量的结果就应该和 SE 图像结果基本一致。

随着电镜技术的不断发展,为了获得更真实的数据结果,我们不仅仅需要使用合适的电镜参数,选择合适的信号进行采集也是非常重要且不容忽视的一环!

SEM扫描电镜图怎么看,图上各参数都代表什么意思

可以从扫描电镜图中看到纳米管的结构,我之前做二氧化钛纳米管,用扫描电镜可以直接看到

扫描电镜中的的参数,分别有:放大倍数,长度标尺,工作电压和工作距离。

  • 评论列表:
  •  酒奴夙月
     发布于 2022-06-21 10:55:46  回复该评论
  • 配置的这个只能在扫描式的电子显微镜或者电子探针上面安装,属于电子显微镜分析附件。类似X射线衍射仪,但用法不太一样。价格比较贵,8万美元左右。用扫描电镜观察低衬度试样时电镜参数如何设定,原因何在?低衬度的
  •  闹旅命轴
     发布于 2022-06-21 12:35:02  回复该评论
  • 扫描电镜的区别是什么?场发射分热场和冷场,共性是分辨率高。热场的束流大些,适合进行分析,但维护成本相对较高,维护要求高。冷场做表面形貌观测是适合的,相对而言维护成本低些,维护要求不算高。冷场发射电子枪优点:单色性好,分辨率高缺点:电子
  •  南殷娇痞
     发布于 2022-06-21 15:06:05  回复该评论
  • 行试样观察时,二次电子的使用会多于背散射电子,此时不会出现太大的测量误差。但是在一些特殊的情况下,比如需要进行成分衬度的观察,或者遇到荷电、沉积污染等情况而不得不使用背散射电子的时候,有没有办法来对 BSE 的测量精度进行弥补呢?答案当然是肯
  •  绿邪囍神
     发布于 2022-06-21 20:22:12  回复该评论
  • ,分别有:放大倍数,长度标尺,工作电压和工作距离。

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